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首頁>電子氣>高純電子氣體 高純電子氣體

 

六氟乙烷、三氟化氮、六氟化鎢、氯化氫、笑氣、二氯氫硅、磷烷、砷烷、硅烷、四氟化硅、四氟化碳、氙氣、三氯化硼、一氧化碳、八氟環丁烷、溴化氫、三氟甲烷、一氟甲烷、三氟化硼、二氧化碳、氯氣、氨氣、氦氣等電子級高純氣。

品種名稱

英文名

化學式

純度(%)

充裝容器(L)

充裝量(Kg)

氨氣

Ammonia

NH3

99.999%

44168

22.7、6.8、4.1

99.9997%

砷烷

Arsine

AsH3

99.999%

5025105

22.711.34.52.3

99.9999%

三氯化硼

Boron trichloride

BCl3

99.99%

4416

36.310

99.999%

三氟化硼

Boron trifluoride

BF3

99.99%

441687

27.29.14.5

99.995%

氯氣

Chlorine

Cl2

99.99%

4944168

45.440.818.14.5

99.999%

二氯二氫硅

Dichlorosilane

SiH2Cl2

99%

4416

40.910

99.9%

三氟甲烷

Halocarbon 23

CHF3

99.995%

4416

31.85.0

99.999%

氯化氫

Hydrogen chloride

HCl

99.995%

494416

31.727.29.1

99.9995%

氧化亞氮

Nitrous oxide

N2O

99.97%

44168

2729.04.5

99.9998%

三氟化氮

Nitrogen trifluoride

NF3

99.7%

4417

207.7

99.995%

SiCl4

Silicon tetrachloride

SiCl4

99.94%

210MC38L

27245.4

硅烷

Silane

SiH4

99.999%

4944

1410

99.9995%

磷烷

Phosphine

PH3

99.999%

441683

1364.12.30.7

99.998%

99.999%

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